德國LAMTECH平面度測量機，采用掠入射光干涉原理，專(zhuān)注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于半導體行業(yè)（Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、閥門(mén)密封件表面(Sealing surfaces)，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域。

德國LAMTECH平面度測量機產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ 非接觸式平面度測量接觸
◆ 高精密評估: ＜0.4µm
◆ 測量速度快: ＜3秒
◆ 可用于車(chē)間現場(chǎng), 100%全檢
◆ 平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測
◆ 表面自動(dòng)識別系統, 或手動(dòng)區域(圓, 圓環(huán), 矩形區域)評估
◆ 數據采集量大, 一次完成對300,000點(diǎn)的評估
◆ 快速生成報告并保存為.csv數據格式, 支持Q-das等統計分析軟件
◆ 廣泛應用于拋光, 研磨或細磨精密表面, 像閥門(mén)盤(pán), 密封環(huán)等

德國LAMTECH平面度測量機技術(shù)參數：

德國LAMTECH平面度測量機應用示例：