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【技術(shù)】線(xiàn)色譜傳感器—高速下的高精度

WERTH為2017Control展隆重推出研發(fā)的傳感器系列:線(xiàn)色譜傳感器(Chromatic Focus Line Sensor, CFL)。其可以快速采集整個(gè)零件的幾何形狀。通過(guò)選用不同的物鏡,調節測量誤差和測量范圍來(lái)適應各種應用需求。通過(guò)大的軸向測量范圍,不需要針對零件幾何形狀的可控的補充。以便通過(guò)掃描,快速并大面積獲取零件幾何形狀。針對表面有明顯高度變化的零件可以采用3D仿樣進(jìn)行掃描。線(xiàn)色譜傳感器可以用于測量漫反射、鏡面和透明零件以及有較大傾斜角的零件表面。

 

CFL在零件表面投影一排約200個(gè)白色光點(diǎn)。從零件表面反射回的光線(xiàn)將通過(guò)光譜分析,確定傳感器和零件表面之間的距離。通過(guò)新的線(xiàn)傳感器*次實(shí)現了高速并且高精度地、完整地采集零件3D數據。僅僅用3秒鐘就能夠測量100萬(wàn)個(gè)測量點(diǎn)。

 

線(xiàn)色譜傳感器還具有另一個(gè)有趣的功能:反射回的光的波長(cháng)強度被分析評估,并創(chuàng )建零件表面的柵格圖像。其后續的分析評估允許通過(guò)圖像處理軟件在圖像內確定零件坐標系或者測量幾何特征。在此基礎上,由于位置的確定,可以不需要傳感器轉換就使用各種其他傳感器進(jìn)行測量。

 

在快速的測量速度下,CFL的測量度允許測量精密零件和微特征。該傳感器不僅可以用于鏡面或者透明零件如沖壓印?;蛘哂操|(zhì)合金及金剛石刀具的測量,也可以用于漫反射的塑料零件的測量。通過(guò)高點(diǎn)密度來(lái)確定不同表面的形貌。例如微機械零件手表表盤(pán)。CFL的另一個(gè)典型應用是在半導體技術(shù)領(lǐng)域,在生產(chǎn)工序中,對于LED陣列的共面的測量。作為測量結果,是以點(diǎn)云的形式體現零件表面的完整形狀,借此測量平面度或者粗糙度以及幾何元素。也可以用顏色編碼顯示出理論實(shí)際值偏差。

 

線(xiàn)色譜傳感器測量的點(diǎn)云數據和CAD模型的顏色編碼偏差顯示

 

手表表盤(pán)的柵格圖像

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